《Rena清洗机》PPT课件.pptx

设 备 中 心 清 洗 组 12月 20日Rena清 洗 机 一 、 设 备 概 况 RENA 清洗设备 设 备 概 况InTex去 除 硅 片 表 面 的 污 染 物 ； 在 硅 片 表 面 腐 蚀 出 绒 面 ； 络 合 硅 片 表 面 沾 污 的 金属 离 子 。目 的 ：InOxSide目 的 ：去 除 硅 片 表 面 的 磷 硅 玻 璃 ； 去 掉 硅 片 背 面 及 周 边 p-n结 。 工 作 流 程 制 绒 槽 上 料 台 下 料 台 干 燥 漂 洗 3# 酸 洗 漂 洗 2# 碱 洗 吹 干 漂 洗 1#InOxSide 刻 蚀 槽 上 料 台 下 料 台 干 燥 漂 洗 3# 酸 洗漂 洗 2#漂 洗 1# 碱 洗 Intex 开 机 前 检 查1、 压 缩 空 气 : RENA 清 洗 机 的 Air Knifes 工 作 压 力 规 定 46bar 的 气 压 。 开 机 前 检 查2、 纯 水 （ DI水 ） 纯 水 压 力 应 在 3Bar - 4Bar， 温 度 在 20 摄 氏 度 开 机 前 检 查3、 冷 却 水 ： 进 水 温 度 应 在 20 摄 氏 度 以 下 ， 进 水 回 水 压 力 差 应在 3Bar 以 上 进 水 温 度 回 水 温 度 开 机 前 检 查4、 化 学 品 供 应 ： 在 界 面 下 ，点 击 10 查 看 各 Media Supply 均正 常 供 应（ 箭 头 均 为绿 色 ） 开 机 的 操 作 过 程1、 合 上 电 源 ， 开 启 设 备 的 显 示 器 电 源 开 关 电 源 按 钮 开 机 的 操 作 过 程 点 击 Login 进 入 登 陆 界面 ， 输 入 用 户 名 及 密 码 ，点 击 ok 进入 , 点 击 开 机 的 操 作 过 程Conveyor按 钮 1.点 击 Manual 按钮 ,随 后 点 F4（ 三 次 ） ，进 入 rives 菜 单 ， 点 击 All Conveyor,点 击 star开始 滚 轮 转 动 。2.点 F10 退回 主 界 面 开 机 的 操 作 过 程 确 认 界 面 各 模块 单 元 上 方 显示 黄 色“ Manual”状态 ， 且 滚 轮 显示 蓝 色 即 滚 动状 态 . 开 机 的 操 作 过 程 确 认 监 测 屏 幕上 显 示 各 模 块溶 液 均 满 槽（ 即 Full DI、Full Chem)和设 备 门 窗 均 关闭 。 所 有 槽 位工 作 状 态 显示 ready.ready Full Chem Full DI 开 机 的 操 作 过 程n 在 设 备 背 面 处 ， 确 认 KOH 槽 和 酸 槽 液 面 均 达 到 第 二 液 位 传感 器 ( Pump Dry Protection)， 若 液 位 不 够 ， 通 知 当 班 工 艺工 程 师 。 开 机 的 操 作 过 程信 息 栏 确 认 各 模块 有 无 报警 信 息 ，若 有 任 何异 常 ， 通知 当 班 工艺 和 设 备工 程 师 。 开 机 的 操 作 过 程 Conveyor按 钮 1.点 击 Manual 按 钮 ,随 后 点 F4（ 三 次 ） ，进 入 rives 菜单 ， 点 击 All Conveyor,点 击 Stop 停 止 滚 轮转 动 。2.点 F10 退 回主 界 面 。 开 机 的 操 作 过 程 点 击 Mode Auto 按 钮 ，设 备 进 入 自动 模 式 ， 在界 面 上 所 有操 作 单 元 下方 从 黄 色“Manual”转变 成 绿 色“Auto”Mode Auto 绿 色 Auto 开 机 的 操 作 过 程设 备 将 自 动 开 始 从 Tank 中 向 Etch bath 添 加 腐 蚀 液添 加 到Etch bath 开 机 的 操 作 过 程n 界 面 上 Etch bath 单 元 下 方 显 示 为 黄 色 “Filling chemie”和 黄色 not ready,等 待 Etch bath 添 加 完 成 ， 等 待 碱 槽 和 酸 槽温 度 显 示 稳 定 ， 下 方 显 示 为 绿 色添 加 完 成显 示 为 绿 色 开 机 的 操 作 过 程n “Full chemie”和 绿 色 “Ready”。 随 后 点 击 start按 钮 各 模 块自 动 运 行 变 为 绿 色 start按 钮 开 机 的 操 作 过 程n 界 面 显 示 各 模 块 均 为 绿 色 “Ready”和 绿 色 in process 即设 备 进 入 正 常 生 产 状 态 。in process 关 机 的 操 作 过 程n点 击 界 面 下 方 的 “Stop”按 钮 stop按 钮 关 机 的 操 作 过 程n确 认 各 模 块 均 停 止 工 作 ， 点 击 “Mode manual 按 钮进 入 手 动 模 式 ， Manual按 钮 关 机 的 操 作 过 程n 进 入 “Manual”选 单 中 “Etch bath”， 点 击 Drain Bath,即 把 Etch bath 中 的 反 应 液 排 到 Tank内 。 点 击 F10 退 回 主 菜 单 ，确 认 Etch Bath 模 块 显 示 黄 色 not ready和 黄 色 drainingDrain Bath 关 机 的 操 作 过 程n 等 待 Etch bath 排 液 完 成 ， 在 Etch bath 模 块 上 只 显 示 为 黄色 “not ready”。 表 明 液 体 排 完 显 示 为 黄 色“not ready” 关 机 的 操 作 过 程n用 水 枪 冲 洗 KOH 的 喷 淋 管 和 槽 体 ， 并 清 洁 设 备 表面 。 关 机 的 操 作 过 程n 检 查 各 门 的 位 置 ， 正 确 地 调 整 好 它 们 。 正 确 为 绿 色 关 机 的 操 作 过 程n点 击 右 上 角 的 “Log off”， 跳 出 一 个 对 话 框 。 点 击 对话 框 中 “Log off”， 门 将 被 密 封 。 按 钮 关 机 的 操 作 过 程n 关 闭 设 备 显 示 器 ， 正 常 的电 脑 关 机不 可 直 接 按电 源 按 钮 谢 谢 !