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真空镀膜基础知识培训真空镀膜基础知识培训真空镀膜基础知识培训真空镀膜基础知识培训 July 2013 I 1 July 2013 真空镀膜基础知识培训真空镀膜基础知识培训真空镀膜基础知识培训真空镀膜基础知识培训 工艺工程师 ：孙成志 沈阳 法雷奥车灯有限公司 目录目录目录目录 : 为什么需要真空 ？ 实现加工的目的 需要实现不同的工艺 真空的基础 什么是真空 ？ 如何获得真空 ？ 真空蒸发镀膜原 理 July 2013 I 2 真空蒸发镀膜原 理 真空蒸镀 物理气相沉积 离子清洗与离子轰击 机器的设计 单个腔体的 多个腔体的 目录目录目录目录 : 产品质量要求 产品一般性测试 (划格附着力 ,NaOH耐腐蚀 , ) 检漏 介绍 检漏原理方法 沈阳工厂检漏标准 July 2013 I 3 镀铝笼架 镀铝常见缺陷 镀膜机常见故障 为什么需要真空为什么需要真空为什么需要真空为什么需要真空 ? 产品的需要产品的需要产品的需要产品的需要 -需要镀铝层 -产品的技术要求 材料的特性材料的特性材料的特性材料的特性 -铝材需要从固态到气态再沉积在产品表面，不氧化 工艺过程的需要工艺过程的需要工艺过程的需要工艺过程的需要 -真空度越高 ， 材料蒸发的温度越低 。 July 2013 I 4 真空度越高 ， 材料蒸发的温度越低 。 -真空度越高，污染就少，沉积率就高。 -合适的真空度，才有合适的等离子区域。 真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要领域也是生产和制造车用车灯真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要领域也是生产和制造车用车灯真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要领域也是生产和制造车用车灯真空镀膜技术是真空应用技术的一个重要领域也是生产和制造车用车灯 的关键技术之一的关键技术之一的关键技术之一的关键技术之一 ，其基本原理是在真空中把金属 其基本原理是在真空中把金属其基本原理是在真空中把金属其基本原理是在真空中把金属 、合金或化合物进行蒸发 合金或化合物进行蒸发合金或化合物进行蒸发合金或化合物进行蒸发 （溅射 溅射溅射溅射 ），），），）， 使其涂覆工件表面使其涂覆工件表面使其涂覆工件表面使其涂覆工件表面 。 按照镀膜方法分按照镀膜方法分按照镀膜方法分按照镀膜方法分 ,在车灯制造行业普遍使用真空蒸发镀和真空溅射镀在车灯制造行业普遍使用真空蒸发镀和真空溅射镀在车灯制造行业普遍使用真空蒸发镀和真空溅射镀在车灯制造行业普遍使用真空蒸发镀和真空溅射镀 ，按 按按按 照真空镀膜机设计制造形式分卧式镀膜机和立式镀膜机照真空镀膜机设计制造形式分卧式镀膜机和立式镀膜机照真空镀膜机设计制造形式分卧式镀膜机和立式镀膜机照真空镀膜机设计制造形式分卧式镀膜机和立式镀膜机 真空镀膜简介真空镀膜简介真空镀膜简介真空镀膜简介 July 2013 I 5 照真空镀膜机设计制造形式分卧式镀膜机和立式镀膜机照真空镀膜机设计制造形式分卧式镀膜机和立式镀膜机照真空镀膜机设计制造形式分卧式镀膜机和立式镀膜机照真空镀膜机设计制造形式分卧式镀膜机和立式镀膜机 镀膜工序是车灯制造业中较关键的工序镀膜工序是车灯制造业中较关键的工序镀膜工序是车灯制造业中较关键的工序镀膜工序是车灯制造业中较关键的工序 ，它是将毛坯映光经此工序加工 它是将毛坯映光经此工序加工它是将毛坯映光经此工序加工它是将毛坯映光经此工序加工 后镀上一层铝膜后镀上一层铝膜后镀上一层铝膜后镀上一层铝膜 ，使毛坯映光达到具有一定反射率的发射镜 使毛坯映光达到具有一定反射率的发射镜使毛坯映光达到具有一定反射率的发射镜使毛坯映光达到具有一定反射率的发射镜 。另外对于车灯 另外对于车灯另外对于车灯另外对于车灯 的装饰件进行装饰镀膜的装饰件进行装饰镀膜的装饰件进行装饰镀膜的装饰件进行装饰镀膜 。 真空基础知识真空基础知识真空基础知识真空基础知识 空气 目的 ：为提高在镀膜过程中沉积物的稳定性 。 我们偶尔能发现 ，有的沉积物会产杂色 ，主要是由于氧化物和氮化 物作用所导致 。为此需要一个密闭容器 ，以提高沉积过程中的真空 。 July 2013 I 6 移动腔体内的分子出去 ，逐步形成正空 。 水分脏污 腔体分子 空气 分子 脏污脏污脏污脏污 （水 水水水） ） 清洁表面清洁表面清洁表面清洁表面 通常环境通常环境通常环境通常环境 高真空环境高真空环境高真空环境高真空环境 真空基础知识真空基础知识真空基础知识真空基础知识 July 2013 I 7 可以提供一个清洁的表面可以提供一个清洁的表面可以提供一个清洁的表面可以提供一个清洁的表面 真空基础知识真空基础知识真空基础知识真空基础知识 真空量度单位 1标准大气压标准大气压标准大气压标准大气压 =760mmHg=760(Torr) 1标准大气压标准大气压标准大气压标准大气压 =1.013x105 Pa 1Torr=133.3Pa 1mbar=100Pa July 2013 I 8 水银柱水银柱水银柱水银柱 ， 1N/M2=1Pa 真空基础知识真空基础知识真空基础知识真空基础知识 工业上把压力低于大气压的气体空间称为真空工业上把压力低于大气压的气体空间称为真空工业上把压力低于大气压的气体空间称为真空工业上把压力低于大气压的气体空间称为真空 ，习惯上又把真空分为低真空 习惯上又把真空分为低真空习惯上又把真空分为低真空习惯上又把真空分为低真空 、 中真空中真空中真空中真空 、高真空 高真空高真空高真空 、超高真空 超高真空超高真空超高真空 、极高真空 极高真空极高真空极高真空 。 常用真空表示单位有毫巴常用真空表示单位有毫巴常用真空表示单位有毫巴常用真空表示单位有毫巴 （ mbar）、）、）、）、 托托托托（ （ Torr）、）、）、）、 帕斯卡帕斯卡帕斯卡帕斯卡 （ pa） 1mbar = 100pa 低低低低真空 真空真空真空 ： 1.0E3mbar（大气压 大气压大气压大气压 ） -10mbar July 2013 I 9 中真空中真空中真空中真空 ： 10mbar-1.0E-3mabr 食品干燥食品干燥食品干燥食品干燥 ,热处理热处理热处理热处理 ,溅射镀膜溅射镀膜溅射镀膜溅射镀膜 高真空高真空高真空高真空 : 1.0E-3mbar-1.0E-8mbar 蒸发镀膜工艺真空范围蒸发镀膜工艺真空范围蒸发镀膜工艺真空范围蒸发镀膜工艺真空范围 超高真空超高真空超高真空超高真空 : 1.0E-8mbar-1.0E-12mbar 极高真空极高真空极高真空极高真空 : 1.0E-12mbar 真空基础知识真空基础知识真空基础知识真空基础知识 几几几几种常用真空泵的工作压强范围 种常用真空泵的工作压强范围种常用真空泵的工作压强范围种常用真空泵的工作压强范围 旋片机械泵旋片机械泵旋片机械泵旋片机械泵 萝茨泵萝茨泵萝茨泵萝茨泵 扩散泵扩散泵扩散泵扩散泵 涡轮分子泵涡轮分子泵涡轮分子泵涡轮分子泵 pa13 1010 pa25 1010 pa50 1010 pa81 1010 July 2013 I 10 涡轮分子泵涡轮分子泵涡轮分子泵涡轮分子泵 溅射离子泵溅射离子泵溅射离子泵溅射离子泵 低温泵低温泵低温泵低温泵 pa111 1010 pa100 1010 如何获得真空如何获得真空如何获得真空如何获得真空 真空镀膜机的组成真空镀膜机的组成真空镀膜机的组成真空镀膜机的组成 真空腔真空腔真空腔真空腔 ：真空腔是镀膜机的主体 真空腔是镀膜机的主体真空腔是镀膜机的主体真空腔是镀膜机的主体 ，内部是蒸着系统和存放需要镀膜的 内部是蒸着系统和存放需要镀膜的内部是蒸着系统和存放需要镀膜的内部是蒸着系统和存放需要镀膜的 靶材靶材靶材靶材 。 抽真空系统抽真空系统抽真空系统抽真空系统 ：抽真空系统是给真空腔内的空气排出 抽真空系统是给真空腔内的空气排出抽真空系统是给真空腔内的空气排出抽真空系统是给真空腔内的空气排出 ，使真空腔内行成 使真空腔内行成使真空腔内行成使真空腔内行成 真空真空真空真空 。（。（。（。（ 真空泵真空泵真空泵真空泵 、管路 管路管路管路 、阀门 阀门阀门阀门 ） 蒸着系统蒸着系统蒸着系统蒸着系统 ： 蒸着系统是给蒸着物质以加热的方法使蒸着物质蒸发出来蒸着系统是给蒸着物质以加热的方法使蒸着物质蒸发出来蒸着系统是给蒸着物质以加热的方法使蒸着物质蒸发出来蒸着系统是给蒸着物质以加热的方法使蒸着物质蒸发出来 。 July 2013 I 11 蒸着系统蒸着系统蒸着系统蒸着系统 ： 蒸着系统是给蒸着物质以加热的方法使蒸着物质蒸发出来蒸着系统是给蒸着物质以加热的方法使蒸着物质蒸发出来蒸着系统是给蒸着物质以加热的方法使蒸着物质蒸发出来蒸着系统是给蒸着物质以加热的方法使蒸着物质蒸发出来 。 并均匀的镀在基片表面构成薄膜并均匀的镀在基片表面构成薄膜并均匀的镀在基片表面构成薄膜并均匀的镀在基片表面构成薄膜 。 冷却系统冷却系统冷却系统冷却系统 ：冷却系统是给一些发热部分起冷却作用 冷却系统是给一些发热部分起冷却作用冷却系统是给一些发热部分起冷却作用冷却系统是给一些发热部分起冷却作用 。 控制系统控制系统控制系统控制系统 ：控制系统是对镀膜机的各个系统进行控制操作 控制系统是对镀膜机的各个系统进行控制操作控制系统是对镀膜机的各个系统进行控制操作控制系统是对镀膜机的各个系统进行控制操作 。 检测系统检测系统检测系统检测系统 ：检测真空腔及各管路真空度 检测真空腔及各管路真空度检测真空腔及各管路真空度检测真空腔及各管路真空度 电力系统电力系统电力系统电力系统 ：电力系统是给镀膜机供应电力 电力系统是给镀膜机供应电力电力系统是给镀膜机供应电力电力系统是给镀膜机供应电力 。 如何获得真空如何获得真空如何获得真空如何获得真空 July 2013 I 12 立式双开门镀膜机立式双开门镀膜机立式双开门镀膜机立式双开门镀膜机 如何获得真空如何获得真空如何获得真空如何获得真空 真空泵的分类真空泵的分类真空泵的分类真空泵的分类 气体传输泵气体传输泵气体传输泵气体传输泵 : 是一种能将气体不断地吸入并排出泵外是一种能将气体不断地吸入并排出泵外是一种能将气体不断地吸入并排出泵外是一种能将气体不断地吸入并排出泵外 以以以以达到抽气目的的真空泵 达到抽气目的的真空泵达到抽气目的的真空泵达到抽气目的的真空泵 ，例如旋片 例如旋片例如旋片例如旋片 机械机械机械机械 泵泵泵泵、 、罗茨泵 罗茨泵罗茨泵罗茨泵 、油扩散泵 油扩散泵油扩散泵油扩散泵 、涡轮分子泵 涡轮分子泵涡轮分子泵涡轮分子泵 。 气体气体气体气体 捕集泵捕集泵捕集泵捕集泵 : 是一种使气体分子短期或永久吸附是一种使气体分子短期或永久吸附是一种使气体分子短期或永久吸附是一种使气体分子短期或永久吸附 、凝 凝凝凝 July 2013 I 13 结结结结在泵内表面的真空泵 在泵内表面的真空泵在泵内表面的真空泵在泵内表面的真空泵 ，例如分子筛 例如分子筛例如分子筛例如分子筛 吸附泵吸附泵吸附泵吸附泵 、鈦升华泵 鈦升华泵鈦升华泵鈦升华泵 、溅射离子泵 溅射离子泵溅射离子泵溅射离子泵 、低温 低温低温低温 泵和吸气剂泵泵和吸气剂泵泵和吸气剂泵泵和吸气剂泵 。 如何获得真空如何获得真空如何获得真空如何获得真空 一般镀膜设备系统一般镀膜设备系统一般镀膜设备系统一般镀膜设备系统： ： ： 机械泵机械泵机械泵机械泵（ （ （叶片泵 叶片泵叶片泵叶片泵）： ）：）： ）： 真空范围： 1.0 1 mbar 机械泵一般应用于抽低真 1.机械机械机械机械 泵工泵工泵工泵工 作示意图作示意图作示意图作示意图 气镇阀 July 2013 I 14 机械泵一般应用于抽低真 空阶段。滑阀泵有单级 H型、双级 2H型 滑阀式真空泵适用于抽吸空气及其他一般 性气体，当使用气镇时，亦能抽吸含有少量的 可凝性气体（如水蒸汽）。当抽吸含氧过高的、 有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空 油起化学反应的气体时，应加附加装置。本型 泵可单独使用，也可作为扩散泵、油增压泵、 罗茨泵等高真空泵的前级泵，相对于旋片式真 空泵， H型滑阀泵比较耐用，使用寿命长。该 泵在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、分子 蒸馏、航空模拟试验使用较多。 机械泵实物图 如何获得真空如何获得真空如何获得真空如何获得真空 2. 罗茨泵罗茨泵罗茨泵罗茨泵 ： 真空范围 ： 1.0 3 mbar 罗茨泵一般应用于抽低真空阶段 。 July 2013 I 15 罗茨泵工作原理图 油蒸发油蒸发油蒸发油蒸发 喷射 喷射喷射喷射 凝结 凝结凝结凝结 ，重复 重复重复重复 循环循环循环循环 由于射流具有工作过程高流由于射流具有工作过程高流由于射流具有工作过程高流由于射流具有工作过程高流 速速速速( (约约约约200200米米米米/ /秒秒秒秒) )、高密度 高密度高密度高密度 、 高分子量高分子量高分子量高分子量 (300500)500)，故能 故能故能故能 3. 油扩散泵油扩散泵油扩散泵油扩散泵 如何获得真空如何获得真空如何获得真空如何获得真空 July 2013 I 16 有效地带走气体分子有效地带走气体分子有效地带走气体分子有效地带走气体分子 。 扩散泵不能单独使用扩散泵不能单独使用扩散泵不能单独使用扩散泵不能单独使用 ，一般 一般一般一般 采用机械泵为前级泵采用机械泵为前级泵采用机械泵为前级泵采用机械泵为前级泵 ，以满 以满以满以满 足出口压强足出口压强足出口压强足出口压强 (最大最大最大最大 40Pa)，如 如如如 果出口压强高于规定值果出口压强高于规定值果出口压强高于规定值果出口压强高于规定值 ，抽 抽抽抽 气作用就会停止气作用就会停止气作用就会停止气作用就会停止 。 如何获得真空如何获得真空如何获得真空如何获得真空 July 2013 I 17 1. 水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 导流管； 4. 泵壳； 5. 加热器 如何获得真空如何获得真空如何获得真空如何获得真空 July 2013 I 18 Butterfly valve蝶阀 Gate valve板阀 Anglevalve角阀 Ball tap valve球阀 如何获得真空如何获得真空如何获得真空如何获得真空 July 2013 I 19 真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理 装卸工件装卸工件装卸工件装卸工件 安装钨丝 安装钨丝安装钨丝安装钨丝 、铝丝 铝丝铝丝铝丝 对工件表面静电除尘 对工件表面静电除尘对工件表面静电除尘对工件表面静电除尘 关门启动 关门启动关门启动关门启动 机械 机械机械机械 泵启动泵启动泵启动泵启动 罗茨泵启动 罗茨泵启动罗茨泵启动罗茨泵启动 扩散泵启动 扩散泵启动扩散泵启动扩散泵启动 辉光放电 辉光放电辉光放电辉光放电 蒸镀 蒸镀蒸镀蒸镀 保护膜 保护膜保护膜保护膜 充气开门充气开门充气开门充气开门 离子清洗离子清洗离子清洗离子清洗 目的目的目的目的 ： 增加铝膜与产品之间附着力增加铝膜与产品之间附着力增加铝膜与产品之间附着力增加铝膜与产品之间附着力 （ 划格实验划格实验划格实验划格实验 ） 真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理 July 2013 I 20 目的目的目的目的 ： 增加铝膜与产品之间附着力增加铝膜与产品之间附着力增加铝膜与产品之间附着力增加铝膜与产品之间附着力 （ 划格实验划格实验划格实验划格实验 ） 离子轰击离子轰击离子轰击离子轰击 目的目的目的目的 ：是将硅晶体沉积在金属镀膜上 是将硅晶体沉积在金属镀膜上是将硅晶体沉积在金属镀膜上是将硅晶体沉积在金属镀膜上 ，形成一层保护膜 形成一层保护膜形成一层保护膜形成一层保护膜 ，使金 使金使金使金 属分子不被氧化属分子不被氧化属分子不被氧化属分子不被氧化 。（。（。（。（ NaOH1%实验实验实验实验 ） 镀膜镀膜镀膜 镀膜：（ ：（：（ ：（ Metallization） ） 这里主要介绍蒸发式金属沉积。本公司目前所用的金属沉积 物为铝 （ Al）。 真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理 July 2013 I 21 物为铝 （ ）。 蒸发源组成： （ 1）电极 （ 2）钨杆 （ 3）铝丝 蒸发过程： 蒸发过程可分为融熔、蒸发。 融熔： 被蒸发材料（铝）在 电流通过钨杆过程中 温度上升蒸发材料（铝）融熔。 蒸发： 当电流（温度）增加至蒸发材料（铝）升华并保持蒸发材料 （铝）完全蒸发。蒸发材料分子同时形成一云雾区，此时分子基本上按直线运动轨迹运行至 被镀工件上并沉积。 真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理 将膜材将膜材将膜材将膜材 （铝 铝铝铝） ）置于由金属或玻璃制成的真空室内 置于由金属或玻璃制成的真空室内置于由金属或玻璃制成的真空室内置于由金属或玻璃制成的真空室内 ，利用发热体通电后 利用发热体通电后利用发热体通电后利用发热体通电后 ， 产生电阻热而获得高温以此来熔融膜材产生电阻热而获得高温以此来熔融膜材产生电阻热而获得高温以此来熔融膜材产生电阻热而获得高温以此来熔融膜材 ，使其达到蒸发的目的 使其达到蒸发的目的使其达到蒸发的目的使其达到蒸发的目的 。 当蒸发分子当蒸发分子当蒸发分子当蒸发分子 （铝分子 铝分子铝分子铝分子 ）的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后 的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后 ， 蒸汽原子和分子从蒸发源表面逸出后蒸汽原子和分子从蒸发源表面逸出后蒸汽原子和分子从蒸发源表面逸出后蒸汽原子和分子从蒸发源表面逸出后 ，很少受到其他分子或原子 很少受到其他分子或原子很少受到其他分子或原子很少受到其他分子或原子 的冲击与阻碍的冲击与阻碍的冲击与阻碍的冲击与阻碍 ，可直接到被镀的基体表面上 可直接到被镀的基体表面上可直接到被镀的基体表面上可直接到被镀的基体表面上 ，由于基片温度较低 由于基片温度较低由于基片温度较低由于基片温度较低 ， 便凝结其上而成膜便凝结其上而成膜便凝结其上而成膜便凝结其上而成膜 （铝膜 铝膜铝膜铝膜 ） 真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理 July 2013 I 22 离子清洗离子清洗离子清洗离子清洗 真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理 工艺步骤工艺步骤工艺步骤工艺步骤 ： 离子清洗离子清洗离子清洗离子清洗 ：（：（：（：（ Glow Discharge） 目的目的目的目的 ：提高基材表面活性有于金属沉积 提高基材表面活性有于金属沉积提高基材表面活性有于金属沉积提高基材表面活性有于金属沉积 （增加附着力 增加附着力增加附着力增加附着力 ）。）。）。）。 July 2013 I 23 离子轰击离子轰击离子轰击离子轰击 真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理真空蒸发镀膜原理 保护膜保护膜保护膜保护膜 ：(Protection)(Protection) 目的目的目的目的 ：是将硅晶体沉积在金属镀膜上 是将硅晶体沉积在金属镀膜上是将硅晶体沉积在金属镀膜上是将硅晶体沉积在金属镀膜上 ， 形成一层保护膜形成一层保护膜形成一层保护膜形成一层保护膜 ，使金属分子不被氧化 使金属分子不被氧化使金属分子不被氧化使金属分子不被氧化 。 工作原理工作原理工作原理工作原理 ：由辉光放电形成的等离子体 由辉光放电形成的等离子体由辉光放电形成的等离子体由辉光放电形成的等离子体 ， 去轰击六甲基硅氧烷去轰击六甲基硅氧烷去轰击六甲基硅氧烷去轰击六甲基硅氧烷 （C6H18OSI2C6H18OSI2）单 单单单 体体体体 ， 使烃键断开使烃键断开使烃键断开使烃键断开 ， 失去电子的单体此时失去电子的单体此时失去电子的单体此时失去电子的单体此时 July 2013 I 24 体体体体 ， 使烃键断开使烃键断开使烃键断开使烃键断开 ， 失去电子的单体此时失去电子的单体此时失去电子的单体此时失去电子的单体此时 带带带带e e- 被带被带被带被带 e+的工件所吸附的工件所吸附的工件所吸附的工件所吸附 ，形成保护 形成保护形成保护形成保护 膜膜膜膜。 。 等离子体由离子等离子体由离子等离子体由离子等离子体由离子 、电子和不带电的粒子 电子和不带电的粒子电子和不带电的粒子电子和不带电的粒子 组成的电中性的组成的电中性的组成的电中性的组成的电中性的 、高度离子化的气体 高度离子化的气体高度离子化的气体高度离子化的气体 ， 它是与固体它是与固体它是与固体它是与固体 、液体和正常气体相区别的 液体和正常气体相区别的液体和正常气体相区别的液体和正常气体相区别的 一种物质状态一种物质状态一种物质状态一种物质状态 目视真空蒸发的真实情况目视真空蒸发的真实情况目视真空蒸发的真实情况目视真空蒸发的真实情况 July 2013 I 25 辉光放电辉光放电辉光放电辉光放电 保护膜保护膜保护膜保护膜 预熔预熔预熔预熔 蒸发蒸发蒸发蒸发 水洗净处理水洗净处理水洗净处理水洗净处理 7001000埃 蒸着蒸着蒸着 蒸着 UV硬化硬化硬化 硬化 干燥干燥干燥 干燥 热硬化热硬化热硬化热硬化 UV硬化硬化硬化 硬化 涂装涂装涂装 涂装 1.热硬化 :1025u 镀铝工艺和生产线概要镀铝工艺和生产线概要镀铝工艺和生产线概要镀铝工艺和生产线概要 BMC反射镜反射镜反射镜反射镜 底漆涂装底漆涂装底漆涂装底漆涂装 底漆干燥底漆干燥底漆干燥底漆干燥 镀铝 镀铝镀铝 镀铝 喷雾 式 热固化底 漆 UV热固化 底漆 July 2013 I 26 超声波洗净后水洗 埃 （反射率约 90%）120 x 7分钟 UV照射 510um 涂装涂装涂装 涂装 130 x10分钟 完成后反射率 8689% 干燥干燥干燥 干燥 断面图断面图断面图断面图 BMC 表面粗糙 0.10.2um 基材基材基材 基材 510um 1025um 0。 1um 2.UV硬化 :1020u 用清洗剂超声波 清洗后水洗 面漆涂装面漆涂装面漆涂装面漆涂装 面漆干燥 面漆干燥面漆干燥面漆干燥 喷雾式 面漆 镀铝 底漆 毛坯 镀膜机机械设计 July 2013 I 27 立式单腔体立式单腔体立式单腔体立式单腔体 卧式单腔体卧式单腔体卧式单腔体卧式单腔体 立式双腔体立式双腔体立式双腔体立式双腔体 镀膜质量 质量检测质量检测质量检测质量检测 ：薄膜性能 薄膜性能薄膜性能薄膜性能 附着力附着力附着力附着力 ：划格实验 划格实验划格实验划格实验 （百格 百格百格百格 ）在铝层表面划 在铝层表面划在铝层表面划在铝层表面划 1mm*1mm 100个小方格个小方格个小方格个小方格 ，深至基材 深至基材深至基材深至基材 粘贴粘贴粘贴粘贴 3M810胶带压实胶带压实胶带压实胶带压实 ，等待 等待等待等待 5分钟分钟分钟分钟 ，胶带沿 胶带沿胶带沿胶带沿 90向上迅速剥离 向上迅速剥离向上迅速剥离向上迅速剥离 。 结果无脱落结果无脱落结果无脱落结果无脱落 耐腐蚀性耐腐蚀性耐腐蚀性耐腐蚀性 ：1%NaOH1%NaOH溶液在溶液在溶液在溶液在 常温下常温下常温下常温下 15分钟分钟分钟分钟 结果铝层无变化结果铝层无变化结果铝层无变化结果铝层无变化 July 2013 I 28 检漏 July 2013 I 29 氦气检漏仪氦气检漏仪氦气检漏仪氦气检漏仪 检漏 镀膜机不同位置真空度不同镀膜机不同位置真空度不同镀膜机不同位置真空度不同镀膜机不同位置真空度不同 July 2013 I 30 镀铝笼架 1，不锈钢板材类型 不锈钢板材类型不锈钢板材类型不锈钢板材类型 。 2，不锈钢型材类型 不锈钢型材类型不锈钢型材类型不锈钢型材类型 3，电铸铜类型 电铸铜类型电铸铜类型电铸铜类型 。 4，机加工类型 机加工类型机加工类型机加工类型 。 5，注塑成型类型 注塑成型类型注塑成型类型注塑成型类型 。 6， 碳纤维成型类型碳纤维成型类型碳纤维成型类型碳纤维成型类型 。 July 2013 I 31 ， 碳纤维成型类型碳纤维成型类型碳纤维成型类型碳纤维成型类型 。 7，车灯零部件类型 车灯零部件类型车灯零部件类型车灯零部件类型 。 共共共共同的特点 同的特点同的特点同的特点 ： 1，要保证生产产品的质量和效率 要保证生产产品的质量和效率要保证生产产品的质量和效率要保证生产产品的质量和效率 。 2，要保证不过大影响抽真空 要保证不过大影响抽真空要保证不过大影响抽真空要保证不过大影响抽真空 。 3，要可以多次清洗后再使用 要可以多次清洗后再使用要可以多次清洗后再使用要可以多次清洗后再使用 。 镀铝笼架 1，不锈钢板材类型 不锈钢板材类型不锈钢板材类型不锈钢板材类型 -适用于边缘整齐平滑适用于边缘整齐平滑适用于边缘整齐平滑适用于边缘整齐平滑 （最好在一个平面 最好在一个平面最好在一个平面最好在一个平面 ）的单个或多个镀 的单个或多个镀的单个或多个镀的单个或多个镀 铝面铝面铝面铝面 。对镀铝边缘尺寸要求不高的产品 对镀铝边缘尺寸要求不高的产品对镀铝边缘尺寸要求不高的产品对镀铝边缘尺寸要求不高的产品 。（。（。（。（ 成本较低成本较低成本较低成本较低 ） July 2013 I 32 镀铝笼架 2，不锈钢型材类型 不锈钢型材类型不锈钢型材类型不锈钢型材类型 -适合正面全部镀铝在背面或侧面有可以悬挂的点的产品适合正面全部镀铝在背面或侧面有可以悬挂的点的产品适合正面全部镀铝在背面或侧面有可以悬挂的点的产品适合正面全部镀铝在背面或侧面有可以悬挂的点的产品 。 （过渡盘 过渡盘过渡盘过渡盘 ，饰圈 饰圈饰圈饰圈 ，成本较低 成本较低成本较低成本较低 。）。）。）。） July 2013 I 33 镀铝笼架 3，电铸铜类型 电铸铜类型电铸铜类型电铸铜类型 -适用于单个或多个镀铝边界角复杂的适用于单个或多个镀铝边界角复杂的适用于单个或多个镀铝边界角复杂的适用于单个或多个镀铝边界角复杂的 ，对镀铝边界要求尺寸精度较高 对镀铝边界要求尺寸精度较高对镀铝边界要求尺寸精度较高对镀铝边界要求尺寸精度较高 的产品的产品的产品的产品 。（。（。（。（ 尾灯灯壳尾灯灯壳尾灯灯壳尾灯灯壳 ，前进气格栅 前进气格栅前进气格栅前进气格栅 ，成本较高 成本较高成本较高成本较高 ） July 2013 I 34 镀铝笼架 4，机加工类型 机加工类型机加工类型机加工类型 -使用使用使用使用 （金属 金属金属金属 ，塑料等 塑料等塑料等塑料等 ）材料 材料材料材料 ，3D3D设计出来的工装夹具设计出来的工装夹具设计出来的工装夹具设计出来的工装夹具 。（。（。（。（ 成本成本成本成本 适中适中适中适中 ） July 2013 I 35 镀铝笼架 5，注塑成型类型 注塑成型类型注塑成型类型注塑成型类型 -设计新的模具设计新的模具设计新的模具设计新的模具 ，开模注塑遮具产品 开模注塑遮具产品开模注塑遮具产品开模注塑遮具产品 。修整装配 修整装配修整装配修整装配 。（。（。（。（ 复杂产品复杂产品复杂产品复杂产品 ， 成本较高成本较高成本较高成本较高 ） July 2013 I 36 镀铝笼架 6，碳纤维成型类型 碳纤维成型类型碳纤维成型类型碳纤维成型类型 -类似玻璃纤维产品的制造工艺类似玻璃纤维产品的制造工艺类似玻璃纤维产品的制造工艺类似玻璃纤维产品的制造工艺 。（。（。（。（ 冲浪板冲浪板冲浪板冲浪板 ，游艇 游艇游艇游艇 ，娱乐设 娱乐设娱乐设娱乐设 施外壳施外壳施外壳施外壳 ） July 2013 I 37 镀铝笼架 7，车灯零部件类型 车灯零部件类型车灯零部件类型车灯零部件类型 -借用现有的车灯零部件借用现有的车灯零部件借用现有的车灯零部件借用现有的车灯零部件 ，做为镀铝产品的遮挡物的一种方法 做为镀铝产品的遮挡物的一种方法做为镀铝产品的遮挡物的一种方法做为镀铝产品的遮挡物的一种方法 。 （成本很低 成本很低成本很低成本很低 ） July 2013 I 38 镀铝笼架 1，不同类型有不同的设计要求 不同类型有不同的设计要求不同类型有不同的设计要求不同类型有不同的设计要求 ： July 2013 I 39 卧式笼架卧式笼架卧式笼架卧式笼架 立式笼架立式笼架立式笼架立式笼架 镀铝笼架 2，不同类型有不同的设计要求 不同类型有不同的设计要求不同类型有不同的设计要求不同类型有不同的设计要求 ： July 2013 I 40 通过改变产品定位通过改变产品定位通过改变产品定位通过改变产品定位 ，改善产品质量 改善产品质量改善产品质量改善产品质量 镀膜常见缺陷 缺陷 原因 解决措施 附着 力 NG 产品表面油污 对产品进行前处理 （酒精擦拭 、清理磨具） 离子清洗电流低 1.检查离子清洗真空度是否在 3Pa 2.适当增大放电功率 3.检查电极放电般是否清洁是否击穿 July 2013 I 41 离子清洗时间短 适当增加清洗时间 保护 膜 NG 离子轰击电流低 1.检查离子清洗真空度是否在 3Pa 2.适当增大放电功率 3.检查电极放电般是否清洁是否击穿 硅油冲入量过小 增加硅油流量 离子轰击时间短 适当增加轰击时间 常见问题 及缺陷类型 发黄 1.镀膜真空镀不 够 （三氧化二铝黄色 ） a.清洁真空室 ，蒸发装置 b.检测真空系统 c.降低环境湿 度 2.铝量过 大 a.提高笼架转速 b.降低蒸发电流 3.放电时电压过大 镀膜常见缺陷 July 2013 I 42 决绝措施 放电时电压过大 发蓝 1.硅油流量 大 (硅油没有完全被离化 ） 2.保护膜放电功率 大 （轰击发蓝 ） 3.重镀后容易发蓝 铝层发乌 发暗 1.增加蒸发 源 2.增加铝丝 3.抬高蒸发源 ，使蒸发源于工件距离拉近 常见问题 及缺陷类型 黑点 、白点 1.清洁镀膜机腔体保持清洁 2.对产品进行静电除尘 3.操作人员佩戴口罩 爆铝 1.安装钨丝 、铝丝佩戴干净手套 2.检查钨丝 、铝丝纯度标准 99.99% 3.减小预熔及蒸发功率 镀膜常见缺陷 July 2013 I 43 及缺陷类型 决绝措施 产品表面雾状 1.直镀产品存放时间过长 （半小时内镀铝 ） 2.产品除静电效果不佳 （静电吸灰 ） 3.提高环境洁净度 4.环境湿度 35%-75% 5.注塑原件 反光镜配光超 暗 1.增大镀铝真空度 2.增加铝量 镀膜 机常见故障 故障 原因 解决措施 真空室脏 1.定期清洁设备罐体及电极2.定期清理镀铝笼架 环境湿度大 1.减小环境湿度2.缩短冷阱除霜周期 July 2013 I 44 抽真空速度 慢 设备漏气 用检漏仪查找露点并修复 循环水温度高 1.检查循环水是否堵塞2.降低循环水温度 泵体缺油 正空泵加油至标准范围内 扩散泵温度不够 检查扩散泵加热电阻 镀膜 机常见故障 故障 原因 解决措施 扩散泵反油 扩散泵温度高 检查扩散泵加热电阻 扩散泵循环水温 度高 1.检查扩散泵循环水是否堵塞 2.降低循环水温度 误操作 ，抽真空时 充气 严格按照设备操作指导书进行操作 July 2013 I 45 充气 严格按照设备操作指导书进行操作 蒸发故障 蒸发电极接触不良 调整并打磨电极触点 电极与设备短路 更换或打磨电极绝缘垫片 蒸发功率变频器故 障 更换或维修功率变频器 参数设置不正确 调整蒸发参数 镀膜 机常见故障 故障 原因 解决措施 放电故障 电极板击穿 更换或打磨电极板绝缘垫片 真空度过低电流过大报 警 调整放电真空度在 3Pa左右 July 2013 I 46 警 放电电源开关没有打开 打开放电电源开关 抽真空速度快 高真空规管故障 打磨高真空规管 真空表故障 更换真空规管 July 2013 I 47