新乡半导体洗净设备项目商业计划书模板范文

泓域咨询/新乡半导体洗净设备项目商业计划书新乡半导体洗净设备项目商业计划书xx有限责任公司目录第一章 项目概况9一、 项目提出的理由9二、 项目概述9三、 项目总投资及资金构成13四、 资金筹措方案14五、 项目预期经济效益规划目标14六、 项目建设进度规划15七、 研究结论15八、 主要经济指标一览表15主要经济指标一览表15第二章 行业、市场分析17一、 行业进入壁垒17二、 泛半导体设备洗净服务行业发展情况18三、 泛半导体设备洗净服务行业概况21第三章 背景及必要性29一、 显示面板行业概况29二、 泛半导体设备洗净服务行业特点32三、 半导体行业概况35四、 加快构建现代城镇体系，推进城乡协调发展38五、 坚持创新驱动发展，不断增强高质量发展新优势40六、 项目实施的必要性43第四章 建设单位基本情况44一、 公司基本信息44二、 公司简介44三、 公司竞争优势45四、 公司主要财务数据47公司合并资产负债表主要数据47公司合并利润表主要数据47五、 核心人员介绍48六、 经营宗旨49七、 公司发展规划49第五章 SWOT分析55一、 优势分析（S）55二、 劣势分析（W）57三、 机会分析（O）57四、 威胁分析（T）59第六章 法人治理64一、 股东权利及义务64二、 董事71三、 高级管理人员75四、 监事78第七章 发展规划80一、 公司发展规划80二、 保障措施84第八章 运营模式分析87一、 公司经营宗旨87二、 公司的目标、主要职责87三、 各部门职责及权限88四、 财务会计制度91第九章 创新发展98一、 企业技术研发分析98二、 项目技术工艺分析100三、 质量管理102四、 创新发展总结103第十章 风险分析104一、 项目风险分析104二、 项目风险对策106第十一章 建筑工程可行性分析108一、 项目工程设计总体要求108二、 建设方案108三、 建筑工程建设指标109建筑工程投资一览表109第十二章 进度规划方案111一、 项目进度安排111项目实施进度计划一览表111二、 项目实施保障措施112第十三章 产品方案与建设规划113一、 建设规模及主要建设内容113二、 产品规划方案及生产纲领113产品规划方案一览表113第十四章 投资方案115一、 投资估算的依据和说明115二、 建设投资估算116建设投资估算表118三、 建设期利息118建设期利息估算表118四、 流动资金119流动资金估算表120五、 总投资121总投资及构成一览表121六、 资金筹措与投资计划122项目投资计划与资金筹措一览表122第十五章 经济效益及财务分析124一、 基本假设及基础参数选取124二、 经济评价财务测算124营业收入、税金及附加和增值税估算表124综合总成本费用估算表126利润及利润分配表128三、 项目盈利能力分析128项目投资现金流量表130四、 财务生存能力分析131五、 偿债能力分析131借款还本付息计划表133六、 经济评价结论133第十六章 项目综合评价134第十七章 补充表格135主要经济指标一览表135建设投资估算表136建设期利息估算表137固定资产投资估算表138流动资金估算表138总投资及构成一览表139项目投资计划与资金筹措一览表140营业收入、税金及附加和增值税估算表141综合总成本费用估算表142固定资产折旧费估算表143无形资产和其他资产摊销估算表143利润及利润分配表144项目投资现金流量表145借款还本付息计划表146建筑工程投资一览表147项目实施进度计划一览表148主要设备购置一览表149能耗分析一览表149报告说明精密清洗行业的下游产业主要包括半导体和显示面板等战略新兴产业。半导体产品的下游应用领域十分广泛，包括消费电子、汽车电子、工业控制、白色家电、网络设备、移动通信等等，下游广阔的应用领域稳定支撑着配套洗净服务行业的持续发展。同时，随着终端市场的便携化、智能化、网络化的发展趋势日趋明显，以物联网、人工智能、云计算、智能家居、可穿戴设备等为代表的新兴产业快速发展，催生大量芯片制造需求，成为继计算机、网络通信、消费电子之后推动集成电路产业发展的新动力。显示面板领域，随着人们对智能电子产品消费体验的提升，AMOLED技术不断渗透应用，成为面板制造新的技术热点。精密洗净服务作为泛半导体产业必不可少的需求，迎来新的发展机遇。根据谨慎财务估算，项目总投资18458.00万元，其中：建设投资14042.44万元，占项目总投资的76.08%；建设期利息346.45万元，占项目总投资的1.88%；流动资金4069.11万元，占项目总投资的22.05%。项目正常运营每年营业收入37300.00万元，综合总成本费用29416.87万元，净利润5772.21万元，财务内部收益率23.89%，财务净现值7846.39万元，全部投资回收期5.70年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。本期项目技术上可行、经济上合理，投资方向正确，资本结构合理，技术方案设计优良。本期项目的投资建设和实施无论是经济效益、社会效益等方面都是积极可行的。本报告基于可信的公开资料，参考行业研究模型，旨在对项目进行合理的逻辑分析研究。本报告仅作为投资参考或作为参考范文模板用途。第一章 项目概况一、 项目提出的理由精密洗净意味着按照非常严格的标准进行清洗，对剩余颗粒或其他污染物的容忍度非常低（颗粒尺寸小于0.3微米），通常在环境严格控制的洁净室进行清洁。在半导体、显示面板、航空航天和医疗等高科技行业的许多重要应用中，精密洗净服务是新制造部件组装前的先决条件，也是制程设备的日常保养和维护的先决条件。二、 项目概述（一）项目基本情况1、项目名称：新乡半导体洗净设备项目2、承办单位名称：xx有限责任公司3、项目性质：扩建4、项目建设地点：xx（以最终选址方案为准）5、项目联系人：孙xx（二）主办单位基本情况公司在“政府引导、市场主导、社会参与”的总体原则基础上，坚持优化结构，提质增效。不断促进企业改变粗放型发展模式和管理方式，补齐生态环境保护不足和区域发展不协调的短板，走绿色、协调和可持续发展道路，不断优化供给结构，提高发展质量和效益。牢固树立并切实贯彻创新、协调、绿色、开放、共享的发展理念，以提质增效为中心，以提升创新能力为主线，降成本、补短板，推进供给侧结构性改革。公司不断建设和完善企业信息化服务平台，实施“互联网+”企业专项行动，推广适合企业需求的信息化产品和服务，促进互联网和信息技术在企业经营管理各个环节中的应用，业通过信息化提高效率和效益。搭建信息化服务平台，培育产业链，打造创新链，提升价值链，促进带动产业链上下游企业协同发展。公司以负责任的方式为消费者提供符合法律规定与标准要求的产品。在提供产品的过程中，综合考虑其对消费者的影响，确保产品安全。积极与消费者沟通，向消费者公开产品安全风险评估结果，努力维护消费者合法权益。公司加大科技创新力度，持续推进产品升级，为行业提供先进适用的解决方案，为社会提供安全、可靠、优质的产品和服务。公司秉承“以人为本、品质为本”的发展理念，倡导“诚信尊重”的企业情怀；坚持“品质营造未来，细节决定成败”为质量方针；以“真诚服务赢得市场，以优质品质谋求发展”的营销思路；以科学发展观纵观全局，争取实现行业领军、技术领先、产品领跑的发展目标。 （三）项目建设选址及用地规模本期项目选址位于xx（以最终选址方案为准），占地面积约36.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。“十三五”时期，面对错综复杂的外部环境和艰巨繁重的改革发展稳定任务， 2020年预计地区生产总值总量超过3000亿元，财政总收入超过300亿元，一般公共预算收入接近200亿元，均比2010年翻一番以上；粮食产量达到95亿斤以上，省社科院刚刚发布的河南经济蓝皮书显示，全市经济综合竞争力跃居全省第三位。创新驱动迸发新活力。成功摘得郑洛新国家自主创新示范区“金字招牌”，在郑洛新三市高新区内率先开展全员聘任、绩效考核、薪酬激励“三制改革”，出台“新八条”推动科技创新“主体侧改革”，带动全市创新创造活力充分迸发。研究与试验发展（R&D）经费投入强度连续多年位居全省前三位，“十三五”期间技术合同成交额60.5亿元，是“十二五”时期的15.1倍。高校院所河南科技成果博览会成为新乡市科技创新的新名片。结构调整迈出新步伐。产业结构持续优化升级，先进制造业专业园区营业收入年均增速20%以上，中国电池工业之都复评成功，中国铁塔（新乡）动力电池回收与创新中心成立，获批省MEMS（微机电）中试基地；全国首个生物育种产业创新中心落户新乡，国家农业科技园区正式挂牌，延津县丰产示范方刷新全国冬小麦单产最高纪录；旅游收入年均增长13.7%，南太行成功创建省级旅游度假区，八里沟获批全国5A级景区。三大攻坚谱写新篇章。现行标准下农村贫困人口全部实现脱贫，封丘县、原阳县提前一年实现摘帽，黄河滩区居民迁建工作位居全省前列，绝对贫困问题在牧野大地历史性画上句号；国土绿化行动提质加速，沿黄生态廊道加快建设，PM10、PM2.5平均浓度比“十二五”末分别下降36.1%、40.4%，8个国省控考核断面全部达标，3个城市集中式饮用水水源地水质达标率达到100%，土壤环境总体稳定，农村人居环境和生态环境明显改善；非法集资、问题楼盘、新晋高速等历史遗留问题处置取得重大进展，地方政府债务等风险有效化解，守住了不发生系统性、区域性风险的底线。城乡发展呈现新面貌。成功创建全国文明城市，顺利通过国家园林城市、国家卫生城市复审，36个村镇入选全国、全省文明村镇；郑新一体化发展步入快车道，郑济高铁新乡段、G107东移改线等重大基础设施项目加快推进，官渡黄河大桥竣工通车，豫北地区交通枢纽重要地位日益凸显；山水林田湖草一体化生态城完成总规和专项规划编制，土地收储、湖体开挖等重点项目启动实施；市域综合交通网络不断完善，水利基础设施持续提升，信息基础设施全面优化，全市“全光网改造”基本完成，4G网络实现城乡全覆盖，正式进入5G商用时代；长垣成功撤县设市；2019年全市城镇化率达到54.9%，高于全省1.7个百分点。改革开放实现新突破。党政机构改革顺利完成，事业单位改革稳步推进，开发区体制机制改革走在全省前列，“放管服”改革持续深化，国企改革工作连续三年被省委、省政府表彰，新飞电器经过重整实现涅槃重生，农村综合改革经验在全省推广；融入“一带一路”建设步伐加快，中欧班列（新乡号）、新日韩铁海联运常态化运营，招商引资“六大要素”保障和“三带三联动”工作受到省委、省政府肯定，“一招四引”“六大专项”招商活动成效显著。民生保障获得新改善。居民人均可支配收入提前一年实现比2010年翻一番目标，城镇累计新增就业33.8万人，新增医疗卫生机构床位7932张，中小学课后服务受到中央媒体点赞，被评为2019年度全国基础教育优秀工作案例，“积分养老”模式成为全国典型，文化事业繁荣发展，民主法治建设扎实推进，治理效能不断提高，全国双拥模范城蝉联“七连冠”，成功战胜2016年“79”“719”特大暴雨洪涝灾害，社会大局保持和谐稳定。（四）产品规划方案根据项目建设规划，达产年产品规划设计方案为：xxx套半导体洗净设备/年。三、 项目总投资及资金构成本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资18458.00万元，其中：建设投资14042.44万元，占项目总投资的76.08%；建设期利息346.45万元，占项目总投资的1.88%；流动资金4069.11万元，占项目总投资的22.05%。四、 资金筹措方案（一）项目资本金筹措方案项目总投资18458.00万元，根据资金筹措方案，xx有限责任公司计划自筹资金（资本金）11387.42万元。（二）申请银行借款方案根据谨慎财务测算，本期工程项目申请银行借款总额7070.58万元。五、 项目预期经济效益规划目标1、项目达产年预期营业收入（SP）：37300.00万元。2、年综合总成本费用（TC）：29416.87万元。3、项目达产年净利润（NP）：5772.21万元。4、财务内部收益率（FIRR）：23.89%。5、全部投资回收期（Pt）：5.70年（含建设期24个月）。6、达产年盈亏平衡点（BEP）：13004.79万元（产值）。六、 项目建设进度规划项目计划从可行性研究报告的编制到工程竣工验收、投产运营共需24个月的时间。七、 研究结论本期项目技术上可行、经济上合理，投资方向正确，资本结构合理，技术方案设计优良。本期项目的投资建设和实施无论是经济效益、社会效益等方面都是积极可行的。八、 主要经济指标一览表主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积24000.00约36.00亩1.1总建筑面积45113.171.2基底面积13920.001.3投资强度万元/亩377.342总投资万元18458.002.1建设投资万元14042.442.1.1工程费用万元12248.092.1.2其他费用万元1421.612.1.3预备费万元372.742.2建设期利息万元346.452.3流动资金万元4069.113资金筹措万元18458.003.1自筹资金万元11387.423.2银行贷款万元7070.584营业收入万元37300.00正常运营年份5总成本费用万元29416.876利润总额万元7696.287净利润万元5772.218所得税万元1924.079增值税万元1557.1010税金及附加万元186.8511纳税总额万元3668.0212工业增加值万元12235.4013盈亏平衡点万元13004.79产值14回收期年5.7015内部收益率23.89%所得税后16财务净现值万元7846.39所得税后第二章 行业、市场分析一、 行业进入壁垒1、技术经验壁垒在半导体、显示面板、光伏、消费电子等客户所处的精密制造行业中，由于产品科技含量高，生产过程对自动化和洁净程度要求均非常高，因此精密洗净服务供应商需要具备较强的技术工艺储备和长期的研发加工经验。对于新进入行业者，领先厂商拥有的多年技术研发积累形成了较高的技术经验壁垒。2、人才壁垒精密洗净服务具有明显的非标准定制化特点，非标定制产品需要根据客户清洗对象、清洗标准定制，洗净服务商不但需要掌握清洗设备的相关技术，还要求理解客户产品生产的流程及工艺特点，这要求精密洗净服务商拥有一支业务素质高、经验丰富的销售、研发、生产和售后服务队伍，而行业新进入企业短期内无法完成上述人才的培养与团队建设。3、客户壁垒随着中国工业化的深入，精密洗净服务已经成为下游客户生产线不可或缺的组成部分，其技术水平与稳定运行是保障客户持续高效生产的基础，企业的品牌和口碑是客户选择洗净服务供应商时所考虑的首要因素。行业知名品牌厂商不但能够拥有较高的市场份额，还具有较强的议价能力。此外，由于精密洗净服务是下游客户生产流程的组成部分，通常提供的清洗工艺与客户所生产产品特性密切相关，使得客户对原提供服务的洗净服务商粘性较高，一旦建立合作关系，一般不会轻易变更供应商。行业特性对新进入者形成较强的客户壁垒。二、 泛半导体设备洗净服务行业发展情况1、较长时期发展缓慢且滞后我国泛半导体设备精密洗净服务行业的发展滞后于欧美等先进工业国家。精密洗净自进入工业化生产后就已经出现，迄今已有近200年的历史。上世纪八九十年代，国际上半导体工业和显示面板工业快速发展，使产品不断向高精密性、高技术、多种技术手段相结合的方向发展，从而催生出精密洗净在泛半导体设备清洗领域的应用，目前精密洗净已经广泛应用于工业领域，包括显示面板、半导体、光伏、装备制造等。我国精密洗净行业起源于上世纪50年代，但由于当时国内工业生产水平较低，精密洗净行业发展较为缓慢。上世纪80年代，随着中国改革开放和大规模的技术引进，整体工业技术水平不断提高，国内工业生产对精密洗净服务的需求日益加大，但是国内精密洗净行业由于多年停滞发展无法满足市场需求，特别是早期的泛半导体设备精密洗净领域，基本上被国外设备厂商垄断，中国大陆精密洗净服务行业（包括泛半导体设备精密洗净服务）长期处于萌芽发展状态。2、成长于国内“缺芯少屏”困局时代国内泛半导体设备精密洗净服务行业伴随着国内半导体和显示面板产业的发展共同成长，它是在国内寻求突破“缺芯少屏”的困局背景下发展起来的。从“屏”来看，全球LCD面板产业的转移经历了“美国起源日本发展韩国超越中国台湾地区崛起中国大陆发力”的过程。中国大陆显示面板产业发端于2003年；2009年以前中国大陆在全球面板产业中基本没有话语权；从2009年后，在液晶面板替代传统CRT显示器和中国大陆市场庞大需求的大背景下，全球液晶面板产能逐渐由日韩及中国台湾地区转向中国大陆，行业经历了从无到有、从小到大的发展历程，中国大陆面板产业的实力实现跨越。从“芯”来看，2010年国务院确定将新一代信息技术被作为战略性新兴产业之一，提出要着力发展集成电路等核心基础产业。2014年6月，国务院首次发布集成电路的纲领性文件国家集成电路产业发展推进纲要，突出企业的主体地位，以技术创新、模式创新和体制机制创新为动力，突破集成电路关键装备瓶颈，推动产业整体提升。集成电路产业作为国民经济和社会发展的战略性、基础性、先导性产业，近几年来发展迅速。随着中游晶圆制造厂的快速崛起，如中芯国际的14nm量产，长鑫存储DRAM量产，长江存储DFlash量产，标志着国产半导体实现瓶颈突破，推动设备、材料等上下游产业链的快速发展。国内泛半导体设备精密洗净服务行业伴随着国内半导体和显示面板产业的发展而成长。随着国内半导体和显示面板行业先进制程的不断进步，国内泛半导体设备精密洗净服务的洗净工艺也随之更新，不断保障高阶制程的落实，保障泛半导体产业国产化进程的顺利进行。由于泛半导体行业高端核心设备至今仍然较多为国外公司垄断，国外公司在出售核心设备时，一般会设置PACKAGE条款限定国内客户的生产设备维护只能或在一定时间内只能由出售方或其指定方提供，一定程度限制了国内泛半导体精密洗净服务行业的发展。目前我国泛半导体精密洗净服务行业仍处于上升阶段，在技术水平上仍有较大的提升空间。3、泛半导体洗净行业的行业规模泛半导体设备洗净服务产业是泛半导体（包括半导体和显示面板等）产业的延伸环节，有助于保障泛半导体产业的安全、稳定生产，洗净技术随着泛半导体产业的发展逐步提高，通常是一代器件、一代设备、一代洗净工艺。根据芯谋研究（ICwise）发布的国内泛半导体设备零部件洗净服务行业发展研报（中国大陆地区），2020年中国大陆地区泛半导体零部件清洗市场总计26亿元人民币，其中面板9.8亿人民币、半导体16.2亿人民币。预计到2025年洗净市场增加到43.4亿，年复合增长率10.8%。其中半导体增量高于面板，市场扩大14.3亿，年复合增长率达到13.5%。三、 泛半导体设备洗净服务行业概况精密洗净服务行业是工业清洗行业的重要分支，它是伴随着现代工业和科学技术的快速发展，以及精密生产设备日常维护的需要而产生和建立。各种不同类型的精密生产设备在长期连续运行中，无一例外地都会受到环境因素的影响。这些设备在其降温送风系统和自身的电磁场作用下，环境中的灰尘、潮气、静电、带电粒子、各种腐蚀性物质和气体等，会逐渐对这些设备的正常稳定运行造成不利影响（如由这些污染物形成的附加“微电路”效应引起的“软性故障”、对设备的缓慢腐蚀和氧化、沾污产品影响良率等）。在当今的高科技产业中，精密洗净服务已成为精密生产设备部件组装前的先决条件，也是制程设备的日常保养和维护的先决条件。精密设备部件洗净的质量直接影响产品生产良率和生产成本。随着国内半导体和显示面板产业的快速发展，精密清洗服务将发挥愈加重要的作用。在国内企业承接新一轮国际产业转移进程中，精密洗净服务企业配合下游客户设备部件的国产化进程，助力下游客户逐步打破高端精密设备部件制造的国外垄断，保障国内半导体和显示面板更高阶产线设备的稳定运行，进一步助力泛半导体行业的进口替代。1、精密洗净服务行业概述工业清洗指工业产品或零部件在工业生产中表面受到物理、化学或生物的作用而形成污染物或覆盖层，去除这些污染物或覆盖层而使其恢复原表面状态的过程。随着生产的发展和科学的进步，在工业清洗领域不断有专门化的新洗净技术出现，精密洗净服务随之逐步发展起来。精密洗净意味着按照非常严格的标准进行清洗，对剩余颗粒或其他污染物的容忍度非常低（颗粒尺寸小于0.3微米），通常在环境严格控制的洁净室进行清洁。在半导体、显示面板、航空航天和医疗等高科技行业的许多重要应用中，精密洗净服务是新制造部件组装前的先决条件，也是制程设备的日常保养和维护的先决条件。以芯片制造为例，如果在制造过程中有沾污现象，将影响芯片上器件的正常功能，因而提高生产设备部件的洁净度是保障芯片生产良率的重要一环。在芯片刻蚀、化学气相沉积、扩散等制程，设备部件上会附着金属杂质、有机物、颗粒、氧化物等各种沾污杂质层，经过一段时间后会有剥落现象；对于芯片制造企业，沾污杂质导致芯片电学失效，导致芯片报废，进而影响产品良率与质量。通常影响精密洗净服务价格的关键因素包括洗净部件的市场价值、厚度、材质、几何形状和该部件工艺研发成本，以及沾污杂质的类型、洁净度要求等。专业精密洗净服务厂商根据制程、机台设备品牌、部件材质与镀层要求等进行分类并提供精密清洗与衍生处理服务，以配合客户提升产品良率及提高制造设备的稼动率。（1）半导体设备洗净服务对象半导体专用设备泛指用于生产各类半导体产品所需的生产设备，属于半导体行业产业链的支撑环节。半导体专用设备是半导体产业的技术先导者，芯片设计、晶圆制造和封装测试等需在设备技术允许的范围内设计和制造，设备的技术进步又反过来推动半导体产业的发展。以半导体产业链中技术难度最高、附加值最大、工艺最为复杂的集成电路为例，应用于集成电路领域的设备通常可分为前道工艺设备（晶圆制造）和后道工艺设备（封装测试，暂时非洗净服务对象）两大类。其中，在前道晶圆制造中，共有七大工艺步骤，分别为氧化/扩散（ThermalProcess）、光刻（Photo-lithography）、刻蚀（Etch）、离子注入（IonImplant）、薄膜生长（DielectricandMetalDeposition）、清洗与抛光（Clean&CMP）、金属化（Metalization），所对应的专用设备主要包括氧化/扩散设备、光刻设备、刻蚀设备、清洗设备、离子注入设备、薄膜沉积设备、机械抛光设备等。晶圆制造设备的市场规模占比超过集成电路设备整体市场规模的80%，其中，刻蚀设备、光刻设备、薄膜生长设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备。（2）显示面板专用设备洗净服务对象TFT显示面板专用设备泛指基于TFT薄膜晶体管作为驱动单元发展起来的用于生产各类显示面板类产品所需的生产设备，主流产品有LCD和OLED两种类型，属于集成电路行业显示技术领域的重要组成部分。其中：LCD显示技术是20世纪八十年代之后逐步发展兴盛起来的采用液晶作为显示单元的显示面板技术。LCD显示面板器的主体结构包含透明基板、偏光片、滤光片、液晶层、TFT阵列等，经过三十多年的高速发展，整个生产技术及产业链已经成熟稳定，但面板制造、封装测试工艺制程中的专用设备供应仍以进口为主。OLED显示技术是21世纪之后逐步发展起来的一种新型的显示技术，其主体结构包含透明基板（可柔性）、空穴/电子注入层、空穴/电子传输层、有机发光层、TFT阵列等，经过近十年的快速发展，与LCD相比，具有功耗低、视角宽、响应速度快等更优的显示性能，为国际社会中显示技术角逐的重点。以LCD和OLED为主流的显示面板技术，生产工序可以分为三大步骤：TFT阵列、cell成盒、后端组装。其中，TFT阵列生产包含基板清洗、镀膜、曝光、显影、刻蚀剥离等工艺制程，cell成盒包含TFT清洗、CF基板加工（LCD）、拼合（LCD）、灌晶（LCD）、蒸镀（OLED）、封装（OLED）、检测等工艺制程，后端组装包含cell清洗、偏光片贴附、IC绑定、FPC/PCB、TP贴合等工艺制程。2、沾污杂质介绍沾污杂质是指泛半导体产品制造过程中引入的任何危害芯片成品率及电学性能的物质。据估计，大部分的芯片电学失效都是由沾污带来的缺陷引起的。一般精密洗净的沾污杂质分为以下几类：1）颗粒。颗粒能引起电路开路或短路。从尺寸上来说，半导体制造中，颗粒必须小于最小器件特征尺寸的一半，大于这个尺寸的颗粒会引起致命缺陷。从数量上来说，硅片表面的颗粒密度代表了特定面积内的颗粒数，颗粒数越多，产生致命缺陷的可能性也越大。一道工序引入到硅片中超过某一关键尺寸的颗粒数，术语表征为每步每片上的颗粒数（PWP），随着先进制程的进步，PWP指标要求越来越高。2）金属杂质。危害半导体工艺的典型金属杂质是碱金属，如钠、钾、锂等；重金属也会导致金属污染，如铁、铜、铝、铬、钨、钛等。金属杂质可能来自化学溶液或者半导体制造中的各种工序，如离子注入等，也可能来自化学品与传输管道和容器的反应。3）有机物。有机物主要指包含碳的物质，它们可能来自于细菌、润滑剂、蒸汽、清洁剂、溶剂和潮气等。4）自然氧化层。自然氧化层一方面妨碍其他工艺步骤，如单晶薄膜的生长；另一方面增加接触电阻，减少甚至阻止电流流过。3、主要洗净方法根据清洗方法的不同，精密洗净可分为物理清洗和化学清洗。物理清洗是指利用力学、声学、光学、电学、热学的原理，依靠外来能量的作用，如机械摩擦、超声波、负压、高压冲击、紫外线、蒸汽等去除物体表面污垢的方法；化学清洗是指依靠化学反应的作用，利用化学溶剂清除物体表面污垢的方法。在实际应用过程中，通常将两者结合起来使用，以获得更好的洗净效果。（1）化学溶剂清洗化学溶剂清洗是指把硝酸、氢氧化钾、双氧水、氨水等按照技术要求配制成相应浓度的溶液，然后把零部件放在清洗槽内浸泡以去除表面金属膜质。（2）熔射涂层熔射是指利用热源将金属或非金属材料进行熔化，并以一定速度喷射到基体表面形成涂层的方法。在操作过程中若有需要，对零部件表面进行喷铝，增加表面粗糙度。（3）电解法清洗将要清洗的设备器件挂在阴极或阳极上置于电解液中，当通以直流电时，由于极化作用，金属与电解质溶液的界面张力降低，溶液渗透到工件表面的污物下面，界面上起氧化或还原作用，并产生大量的气泡，当气泡聚集形成气流从污物与金属的间隙中溢出时，起鼓动和搅拌作用，使污物从工件表面上脱落，达到退除污物及清洗表面的目的。根据设备器件挂在阳、阴极的不同位置分成阴极电解和阳极电解法。电解法清洗用途很广，可以除氧化膜、除旧镀膜和漆膜等金属或非金属附着物，而且获得很好的清除效果，清洗效率高且较彻底。（4）蒸气法清洗蒸气法清洗又分为水蒸气清洗和溶剂蒸气清洗两种。水蒸气清洗是一种比较普遍而又简单的清洗工艺，主要利用蒸汽的热气流蒸发到设备器件的表面，并充分与设备器件表面接触，由于水蒸气的温度高，有一定的压力和冲击力，所以有一定的清洗效果。溶剂蒸气清洗则是一种用有机溶剂蒸发蒸气进行清洗的方法。由于溶剂的温度高，且蒸发时形成气流把污渍溶解并带走。（5）纯水清洗和高压水洗纯水清洗是指把零部件放在纯水清洗槽内浸泡，以去除产品内部可能残留的药液成分；高压水洗是指高压水洗枪吹扫零部件表面，去除零部件表面具有一定粘附力的颗粒、熔射灰、粉尘等。（6）超声波清洗超声波清洗是指在浸泡清洗工件的液体中发射超声波，使液体产生超声波振荡。液体内部某一瞬间压力突然增大或突然减小，这样不断地反复进行。当压力突然减小时，溶液内会产生许多真空的、很小的空穴，溶解在溶液内的气体被吸入空穴内，形成气泡。小气泡形成后，由于压力突然增大而被压破并产生冲击波，这种冲击波又能使金属表面的污物、氧化皮等在界面上受到剥离，并脱离工件表面，达到比一般除污方法快的清洗效果。超声波清洗可以和化学除污、电化学除污、酸洗除金属镀层等结合，提高除污的效果和清洗的质量。第三章 背景及必要性一、 显示面板行业概况1、全球显示面板产业发展概况（1）全球LCD产能向中国大陆转移趋势强烈韩国、中国台湾地区（以下简称“台湾”或“中国台湾”）、中国大陆是全球三大主要面板生产基地。2011年以来，国内以京东方为首的面板厂商开始加大投资规模，中国大陆面板产能逐渐上升。根据WitsView数据，2017年中国大陆LCD面板产能（主要包括PC、TV、Tablets）为3.61亿片，占全球总产能的46.4%，居于世界首位，而韩国在2017年的LCD面板产能（PC、TV、Tablets）为2.02亿片，产能占比为25.9%。2019年LCD面板出货面积京东方共计出货大尺寸液晶面板4,086万平米，同比增长20.0%，首次超过LGD成为全球出货面积最大的大尺寸液晶面板供应商；华星光电的出货面积也从2018年的1,770万平米增加到2019年的2,150万平米，同比增长21.47%。中国大陆厂商的全球市占率达到42.3%，成为全球最大的面板制造基地。面板产能大规模向中国大陆转移，为面板设备的国产化以及下游设备清洗服务带来历史机遇。（2）全球OLED产业保持高速增长，增速领跑显示面板产业IHS统计数据显示，2017年全球OLED出货达到了4.64亿片，同比增长11.8%，营业收入达到252亿美元，同比增长63.6%。而2017年全球显示面板出货量为38.27亿片，同比增长4.9%，全球显示面板产业规模达到了1,272亿美元，同比增长21.2%。2020年，全球OLED屏幕的出货量超过5.7亿块（5.7788亿块），同比增长3.7%，营收为326.8亿美元。IHS预计，到2022年，全球显示面板产业规模将达到接近40亿片，其中OLED将超过9亿片，年复合增长率达14.2%；从营业收入方面来看，到2022年，全球显示面板产业营业收入将达到1,380亿美元，其中OLED约为421亿美元，年复合增长率达18%。2、中国大陆显示面板产业发展概况（1）中国大陆显示面板行业迅猛发展随着中国大陆显示面板产业的高速发展，整个显示面板行业已由原来的日韩台三足鼎立，转变成三国四地的产业新格局。随着中国大陆高世代线的加快建设以及新型显示技术的发展，中国大陆在全球显示面板产业中的地位快速提升。我国显示面板产业的核心竞争力随着面板产能、技术水平的稳步提升而逐渐增强，产业整体规模持续扩大，全球市场份额不断提高，面板自给率快速攀升，技术水平与国际先进水平差距逐渐缩小，产业发展进入良性循环轨道；技术创新能力逐步提升，产业聚集区初步形成，全球影响力不断增强。（2）中国大陆OLED产线密集投资，6代线投资金额超过2000亿元近年来，在重点企业和地方政府的推动下，国内OLED产线布局加快，不仅吸引显示面板业内企业加快项目投资，也吸引了非本行业企业涉足OLED领域。除了京东方（成都）在2017年底已量产的第一条6代柔性AMOLED面板产线外，2018年天马、维信诺等都开始量产6代柔性AMOLED产线。2019年和辉光电、华星光电6代线也开始量产。（3）本土产业链不断完善，形成初步配套体系显示面板产业发展带动了上下游材料、设备和技术的发展，推动了配套产业的国产化进程，国产上、下游材料和装备在产业竞争中已经具备了一定优势：价格和成本较低；产能和技术快速成长；与国际企业相比，更贴近市场和客户，目前国内中、低世代线国产化供应体系基本建成，如京东方在玻璃基板、液晶材料等重要材料方面基本实现了本土企业配套供应；华星光电则通过与本土企业一起技术攻关，扶持配套国产化。目前，我国部分5代线材料本地配套率达到70%，其中玻璃基板国产化率达70%，液晶材料达到60%，同时本土企业也在不断向产业高端发展。在国内面板龙头企业带动下，产业集聚效应逐渐显现，产业链本土配套率越来越高，预计未来显示面板产业本地化配套能力将进一步提升，带动包括检测设备等相关配套企业快速成长。二、 泛半导体设备洗净服务行业特点1、泛半导体专用设备在半导体产业链中至关重要泛半导体专用设备在泛半导体行业产业链中占据重要的地位。泛半导体专用设备的技术复杂，客户对设备的技术参数、运行的稳定性有苛刻的要求，以保障生产效率、质量和良率。按照摩尔定律，当价格不变时，集成电路上可容纳的元器件的数目，约每隔18-24个月便会增加一倍，性能也将提升一倍。相应的，半导体行业的设备洗净服务提供商也必须每隔18-24个月推出更先进的洗净工艺；泛半导体制造工艺的技术进步，反过来也会推动泛半导体专用设备的技术革新，从而带动上游设备清洗服务提供商的洗净技术工艺不断提升。同时，集成电路行业的技术更新迭代也带来对于设备投资的持续性需求，从而带动泛半导体设备洗净服务行业的持续快速发展。2、泛半导体设备洗净服务技术壁垒高，通过客户验证难度较大泛半导体产品制造过程中，需要用到蒸镀、薄膜、蚀刻和光刻等工艺过程。这些工艺使机台设备会沉积覆着物或被刻蚀，有效的污染控制是保证和提高泛半导体行业产品良率的必要条件，为确保生产功效，阶段性对泛半导体生产设备进行洗净，是泛半导体产品制造过程中必不可少的需求。泛半导体设备洗净领域技术涉及物理、半导体物理、物理化学、电化学等多种基础科学和化工、机械、材料、表面处理等多种工程学科，属于多学科交叉行业。泛半导体专用设备行业的国际巨头企业的市场占有率很高，特别是在光刻机、检测设备、离子注入设备等方面处于垄断地位，且其在大部分技术领域已采取了知识产权保护措施，因此早期国内泛半导体设备洗净服务行业集中在中低端设备，洗净附加值相对较低。早期高端泛半导体设备行业的技术壁垒非常高，洗净服务均由设备原厂提供，由于设备厂商在国内无设备洗净服务能力，所有洗净服务均需履行进出口手续，洗净服务费用高、且响应速度慢，严重影响国内泛半导体生产厂商的稳定生产。泛半导体行业客户对半导体专用设备的质量、技术参数、稳定性等有严苛的要求，为保证稳定生产，投产初期一般主要选择设备原厂提供洗净服务，对新的设备洗净供应商的选择也较为慎重。一般选取行业内具有一定市场口碑和市占率的供应商，并对其设备洗净服务开展周期较长的验证流程。通常，泛半导体行业客户要求设备洗净供应商先提供设备试洗服务测试，待通过内部验证后纳入合格供应商名单。因此，泛半导体设备洗净服务企业在客户验证、开拓市场方面周期较长、难度较大。中国大陆少数企业经过了十年以上的技术研发和工艺积累，在泛半导体设备洗净领域实现了技术突破和创新，已基本能够满足国内泛半导体生产企业的设备洗净需求，设备洗净服务已基本实现国内替代。3、技术更新较快，与下游应用行业协同发展根据摩尔定律，芯片工艺节点不断缩小，由12m-0.35m（1965年-1995年）到65nm-22nm（2005年-2015年），且还在向更先进的方向发展，如14nm-5nm。随着芯片工艺的不断进步，相应生产技术与制造工序愈为复杂，设备清洗工序的需求增加，而对配套洗净服务企业的洗净技术和表面处理工艺要求也更加严格。精密洗净服务企业需要不断学习新技术，研发新工艺，以满足半导体客户不断提升的标准与要求，并配合客户寻找提升良率的方法。显示面板产业方面，随着技术的革新和产品的不断迭代，对精密洗净服务企业的技术和工艺要求也日趋提升。随着显示的应用领域不断扩大，对显示的响应速度、液晶屏幕厚度、显示视角等技术提出了更高的要求；未来面板行业AMOLED渗透率有望不断提升，而AMOLED半导体显示面板产品生产和组装的精度要求极高（达到微米级），产品品质要求日益严格。精密洗净服务企业需要密切跟踪行业发展动向以及客户需求变化情况，只有不断精进技术和改进工艺，才能提供配套优质的服务。三、 半导体行业概况1、全球半导体产业发展概况半导体是电子产品的核心，信息产业的基石。半导体行业具有下游应用广泛、生产技术工序多、产品种类多、技术更新换代快、投资高、风险大等特点，全球半导体行业具有一定的周期性，景气周期与宏观经济、下游应用需求以及自身产能库存等因素密切相关。根据世界半导体贸易统计组织（WSTS）数据：全球半导体行业2018年市场规模达到4,688亿美元，较2017年增长约13.7%。过去五年，随着智能手机、平板电脑为代表的新兴消费电子市场的快速发展，以及汽车电子、工业控制、物联网等科技产业的兴起，强力带动了整个半导体行业规模迅速增长。世界半导体贸易统计组织（WSTS）数据显示，2018年美国半导体行业市场规模约为1,030亿美元，占全球市场的21.97%；欧洲半导体行业市场规模约为430亿美元，约占全球市场的9.16%。亚太地区半导体行业近年来发展迅速，已成为全球最大的半导体市场。亚太地区（除日本外）市场规模达2,829亿美元，已占据全球市场60.34%的市场份额，中国大陆地区是近年来全球半导体市场增速最快的地区之一。根据国际数据公司（IDC）的半导体应用预测报告（SAF），2020年全球半导体销售额达到4,420亿美元，比2019年增长5.4%。尽管COVID-19对全球经济带来了影响，但是云计算的应用以及远程办公与在线学习等支持设备的需求增长，使全球半导体市场在2020年的表现好于预期。2021年，全球半导体行业销售额总计5,559亿美元，同比增长26.2%。根据国际半导体产业协会（SEMI）公布的全球晶圆厂预测报告，2020年、2021年全球半导体晶圆厂设备支出同比上涨16%和42%，预计2022年同比涨幅达18%。2、中国半导体行业发展概况我国本土半导体行业起步较晚。但在政策支持、市场拉动及资本推动等因素合力下，中国半导体行业不断发展。步入21世纪以来，我国半导体产业市场规模得到快速增长。根据普华有策市场研究中心统计数据，2018年，中国半导体产业市场规模达6,531亿元，比上年增长20.7%。2013-2018年中国半导体市场规模的复合增长率达21.09%，显著高于同期世界半导体市场的增速。根据市场调查及研究机构ICInsights发布的报告显示，中国大陆自2005年成为世界最大的半导体市场后，规模稳步增长，每年年增长率均维持在两位数。2020年中国半导体销售额累计为1,508亿美元，同比上涨5.2%。2020年中国大陆半导体设备销售额为187.3亿美元，同比上涨39.3%，超越中国台湾地区，成为半导体设备全球最大市场。中国半导体行业进入景气上行周期，预计未来仍将维持高增长。随着近年国家集成电路产业发展推进纲要、中国制造2025、国家信息化发展战略纲要等重要文件的出台，以及社会各界对半导体行业的发展、产业链重构的日益重视，我国半导体行业正站在国产化的起跑线上。随着5G、AI、物联网、自动驾驶、VR/AR等新一轮科技逐渐走向产业化，未来十年中国半导体行业有望迎来进口替代与成长的黄金时期，逐步在全球半导体市场的结构性调整中占据举足轻重的地位。在贸易摩擦等宏观环境不确定性增加的背景下，加速进口替代、实现半导体产业自主可控已上升到国家战略高度，中国半导体行业发展迎来了历史性的机遇。3、未来全球半导体产业预计将继续向中国大陆转移纵观半导体产业的发展过程，经历了由美国向日本、向韩国和中国台湾地区及中国大陆的几轮产业转移。目前中国大陆正处于5G通信、物联网、人工智能、新一代智能手机等行业的快速崛起过程中，已成为全球最重要的半导体应用和消费市场之一。根据国际半导体协会（SEMI）的统计数据，2017年到2020年期间，全球将有62座新晶圆厂投产，其中有26座新晶圆厂座落于中国大陆，占比达42%。新晶圆厂从建立到生产的周期大概为2年，未来几年将是中国大陆半导体产业的快速发展期。4、我国半导体国产化需求紧迫虽然我国半导体需求庞大，并且在快速增长，但国内产值远低于市场需求。全球54%的芯片都出口到中国，但国产芯片的市场份额只占10%。我国芯片产业长期被国外厂商控制，已超过了石油和大宗商品，成为第一大进口商品。根据中国海关统计数据，2019年中国集成电路进口金额3,040亿美元，截至2020年8月底，中国集成电路累计进口1.5万亿元人民币，同比增长15.3%，高于我国外贸进口17.6个百分点，呈快速增长的态势。可见，目前国内半导体、特别是集成电路市场需求严重依赖进口的局面仍未得到改善。在新一轮的中美贸易冲突中，中国的高科技企业成为美国的重点打击对象，尤其半导体芯片更是重中之重。2020年9月15日后，台积电、三星、中芯国际等芯片制造商均无法为华为供货。2020年12月，代表中国大陆芯片制造最高水平的中芯国际被列入美国制裁的黑名单，中芯国际的全球市场占有率大概全球排名第四，综合来看，中芯国际在国际芯片制造业属于第二阵营，但也是最有希望跻身一流的企业。四、 加快构建现代城镇体系，推进城乡协调发展落实国家、省区域协调发展战略、主体功能区战略，优化国土空间布局，坚持郑新一体、主副引领、多点支撑，加快推进以人为核心的新型城镇化，构建大中小城市和小城镇协调发展的现代城镇体系。（一）构建国土空间开发保护新格局科学划定生态保护红线、永久基本农田、城镇开发边界三条控制线，强化土地集约高效利用，逐步形成城市化地区、农产品主产区、生态功能区三大空间格局，优化重大基础设施、重大生产力和公共资源布局。支持城市化地区高效集聚经济和人口、保护基本农田和生态空间，发展成为体现新乡竞争力的主要空间与双循环新发展格局的主体空间。支持农产品主产区增强农业生产能力，发展成为保障新乡农产品安全的主体空间、农村居民安居乐业的美好家园。支持生态功能区把发展重点放在保护生态环境、提供生态产品上，因地制宜发展不影响生态功能的文化旅游、适量农牧业、特色产业等，发展成为保障新乡生态安全的重点区域。（二）加快郑新一体化发展按照“规划引领、交通先行、产业协同、功能互补、节点突破、统筹推进”思路，积极融入郑州都市圈建设，强化新乡作为郑州都市圈的北部门户与豫北区域中心功能。推动铁路、高速、干线公路、城市快速路等重大交通基础设施建设，打造轨道交通与高快路网有机衔接的郑新复合型交通廊道，提升郑新之间通行效率。推动郑新产业协同、功能互补，打造郑新共同发展区。加快郑新两地生产、生活、生态功能一体化，完善和扩大郑新一体化日常生活圈。五、 坚持创新驱动发展，不断增强高质量发展新优势坚持创新在现代化建设全局中的核心地位，把科技创新作为全市发展的战略支撑，深入实施科教兴市、人才强市、创新驱动发展战略，充分发挥郑洛新国家自主创新示范区龙头带动作用，不断完善创新体系，持续优化创新环境，全面塑造新乡高质量发展创新优势。（一）提升科技创新能力实施科技强市行动，抢抓国家、省优化科技资源布局机遇，围绕产业链部署创新链、围绕创新链布局产业链，打好关键核心技术攻坚战，提高创新链整体效能。鼓励支持中电科二十二所、河南师范大学、新乡医学院、河南科技学院等驻新高等院校、科研院所参与黄河实验室、嵩山实验室、农业供给安全实验室等实验室建设，积极争取国家、省重大创新平台和重大科技基础设施在我市布局，鼓励驻新高校、科研院所和科技型企业联合整合各类创新资源，建设一批省级以上研发平台。深入实施重大科技项目，在高端装备、新能源电池、先进材料、生物医药、新一代信息技术、生物育种、公共安全等领域取得一批重大标志性成果。推动郑洛新国家自主创新示范区高质量发展，加快推进“一区四园四集群”建设，高标准建设电波科技城，建成功能齐全的新乡市科技大市场。促进高新技术产业开发区等科技园区高质量发展。（二）强化企业创新主体地位推动各类创新要素向企业集聚，提升企业技术创新能力。推进产学研深度融合，支持企业牵头组建创新联合体，承担国家、省重大科技项目。支持中电科二十二所、国家生物育种产业创新中心、河南电池研究院、新航集团、华兰生物等企业和院所承担“卡脖子”工程，实现在生物育种、物联网无线传输、5G天线、信息安全模组、超晶格正极电池材料、全固态锂离子电池等领域的关键核心技术突破。大力实施研发投入提升工程，落实税收优惠等政策，引导企业加大研发投入。发挥企业家作用，推动生产组织创新、技术创新、市场创新。深入实施创新型企业培育行动，建立完善以科技型中小企业为基础、高新技术企业为支撑、创新龙头企业为引领的创新型企业集群培育发展体系。加快生物医药产业共性关键技术创新与转化平台建设。（三）激发人才创新活力围绕引进人才、留住人才、培养人才、用好人才、服务人才，实施“人才强新”行动计划。聚焦重点产业、龙头企业，培育引进创新引领型的领军人才和团队。鼓励规上工业企业建设高校实训基地。树立柔性引才理念，持续探索在国内外创新高地建立引才聚才载体。健全以创新能力、质量、实效、贡献为导向的科技人才评价体系。加强学风建设，坚守学术诚信。健全创新激励和保障机制，构建充分体现知识、技术等创新要素价值的收益分配机制，完善科研人员职务发明成果权益分享机制。加强创新型、应用型、技能型人才培养，实施知识更新工程，深入推进全民技能振兴工程。高水平对接中国河南招才引智创新发展大会等载体平台，落实好各项人才保障激励政策，发挥政策叠加效应，集聚各类优秀人才。（四）构建良好创新生态深化科技体制改革，完善科技治理体系，推动重点领域项目、基地、人才、资金一体化配置，深入落实“新八条”等政策；改进科技项目组织管理方式，实行“揭榜挂帅”等制度。建立科技创新财政投入稳定增长机制，加大对基础前沿研究支持。完善金融支持创新体系，建立灵活、高效的科技金融协调机制，持续完善科技信贷制度、科技型小微企业贷款贴息制度，促进新技术产业化规模化应用。扩大科技开放合作，支持国内外知名高校院所在新乡设立分支机构，打造永不落幕的高博盛会。促进技术转移和科技成果转化，建设一批新型研发机构、技术转移示范机构，推动设立河南生物技术研究院和生物医药产业联盟。对新产业新业态实行包容审慎监管，促进大众创业万众创新。弘扬科学精神和工匠精神，加强科普工作，营造崇