资源描述
,光學鍍膜基礎知識,理論基礎 各类膜系 硬體系統 品質維護,一.光學薄膜理论基础,光學薄膜 基本上是藉由干涉作用而達到效果的。是在 學元件上或 獨立的基板上鍍上一層或多層的介電質膜或 金屬膜或介電質膜與金 屬膜組 成的膜堆來改變光波傳導的特性。因 此 波在薄膜中行進才 會發生透射、反射、吸 收、散射、相位偏移等變化。 光波經過薄膜後在光譜上會起變化 ，因此這些變化會使得 學薄膜 至少具有下列功能： 1.反射 的提高或 穿透 的降低 2.反射 的降低或 穿透 的提高 3.雙色 、偏極光的分光作用 4.光譜帶通或截止等濾 光作用 5.輻射器之光 通量調變 6.光電資訊的儲存及輸入,1.在膜層中 ，波的干涉結果，如R% 、T%都是與膜質本身和兩邊界邊的 折射率有關系，相位變化也是如此。 2.由于干涉作用造成的反射率有時升高，有時反而降低 ，都 要視膜层的折射率高於或低於基板折射率而定。 若NfNs ，則反射率會提高 (Ns为基底) NfNs ，則反射率會降低 3.因此若要在鏡片上鍍上抗反射膜，薄膜的折射率就必須小於基板的折射率,且膜厚要在1/4波長的奇數倍 ，才會使反射 達到最小 。 干涉現象必須滿足3個條件才能發生: 1.振動頻率相等 2.振動方向一致 3.相位差恆定,一.光學薄膜理论基础,镀膜目的: 反射率的提高或透射率的降低 反射率的降低或透射率的提高 分光作用：中性分光、变色分光、偏极光分光 光谱带通、带止及长波通或短波通之滤光作用 相位改变 液晶显示功能之影显 色光显示、色光反射、伪钞及有价证券之防止 光波的引导、光开关及积体光路,一.光學薄膜理论基础,單層減反射膜,二.各种膜係介紹,AR-Coating,輔正膜,IR膜,IR膜,高反膜,三.硬体系统,鍍膜機臺內部結構,離子源助鍍,鍍膜機類型,鍍膜機构造五大系統,排氣系統 控制系統 蒸鍍系統 監控系統 輔助系統,排氣系統,工作原理,通過三個泵浦(RP,MP,DP)的工作,從而達到鍍膜所需的真空條件 1大氣壓=760torr =1.013*105pa A) 3.0*10-5 TORR B) 4.0*10-4 pa,泵浦及真空計圖,RP,MP,DP,真空計,控制系統,工作原理,通過自動化程式來控製所有泵浦和閥門的正常運轉,從而確保鍍膜機的效率的品質,鍍膜機控制柜,主要通過 PLC 控制電路自動完成,鍍膜機控制界面,機器觸摸界面,蒸鍍系統,工作原理,鍍膜藥材在真空中,通過電子槍發出的電子束或鎢片的電流使其熔解而蒸發后,而沉積在基底(鏡片)的表面,蒸鍍圖片,電子槍蒸鍍裝置,鎢片蒸鍍裝置,蒸鍍所用藥材,MGF2,H4,TiO2,Ti3O5,AL2O3,SIO2,金屬AL,Ag,Cr,NB2O5,Ta2O5,監控系統,工作原理,通過專用的軟體來縮小設計鍍膜厚度和實際鍍膜厚度之間的差值,監控控制系統示意圖,LP1300EBA 透過式光學監控,LP900EBA 石英膜厚監控,石英膜厚儀,膜厚系統控制界面1,蒸鍍中畫面!,監控系統控制界面2,蒸鍍完成畫面,全部通過自動化程式控制!,監控系統的種類,透過式 (37臺) 反射式 (4臺) 時間 (3臺) 目視/石英監控(7臺),輔助系統,工作原理,1.提升機臺的抽氣性能2.便於人員操作3.提高機臺的精度4.分析異常產生的原因,輔助設備圖片,冰水機,POLYCOLD,叉車,冷卻水,鍍膜三要素,1.真空度 (3.0*10-5torr)2.抽氣時間(45min)3.溫度 (300) 當以上三個條件同時滿足時,自 動化程式會自動運行,保養的目的,讓鍍膜機能長時間地正常運轉 降低故障時間 提高機臺精度,穩定品質 加快抽氣速度,提升機臺利用率,日常保養項目及周期,電子槍(坩鍋)部位的吸塵-1次/伞 離子槍部位的清潔-1次/伞 遮板的清潔-3次/班 燈絲的更換-1次/班 綠紙的更換-2次/班 機臺外表的擦拭- 2次/班,定期保養項目及周期,泵浦和管路的保養-1次/年 油類的更換(或添加)-1次/年 密封環的更換-1次/年 加熱絲的噴砂處理-1次/年 真空桶的打磨- 1次/3天 內壁板的噴砂處理- 1次/3天 真空計的校正-1次/月 投光源燈泡的更換-1次/15天,
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